TSMC 대만 반도체 공장… 세계 최고 수준 내진설계

TSMC 대만 파운드리 라인(팹16) 외부 모습. /TSMC

세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 기업인 대만 TSMC가 지난 3일 일어난 규모 7.2의 지진에도 이틀 만인 5일 “웨이퍼 팹(fab·반도체 생산공장)의 설비가 대부분 복구됐다”고 밝혔다. TSMC뿐 아니라 삼성전자·SK하이닉스 등 대부분 반도체 공장들은 내진 설계보다 한 단계 더 강화된 ‘제진설계’로 지진에 대처한다. 댐퍼 같은 특수 장치를 써 진동을 아예 30~50%가량 줄이는 방식이다.

일부 중요 반도체 장비는 자체적으로 지진에 대비한 시스템이 마련돼 있다. 최첨단 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 장비는 미세한 움직임에도 멈추게 돼 있다. 웨이퍼와 장비의 피해를 막기 위해 장비 스스로 가동을 중단하는 것이다. SK하이닉스 관계자는 “2017년 포항 지진 당시 노광 장비가 진동을 감지해 일시 정지한 덕분에 피해가 없었다”고 말했다.